応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
80 巻, 3 号
『応用物理』 第80巻 第3号
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巻頭言
企画の意図
総合報告
  • 江刺 正喜
    2011 年 80 巻 3 号 p. 181-188
    発行日: 2011/03/10
    公開日: 2019/09/27
    ジャーナル フリー

    MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)による小形のセンサは,システムの入力デバイスとして重要な働きをしている.ピエゾ抵抗型や容量型の圧力センサ,SAWデバイスによるワイヤレス圧力センサ,ロボット用触覚センサネットワーク,加速度センサや角速度センサ(ジャイロスコープ),光スキャナを用いた距離画像センサ,赤外線イメージャ,FTIRやガスクロマトグラフの成分センサ,流体用のフローセンサ,医療用の極細光ファイバ血圧センサや体内埋め込み圧力センサについて述べる.

解説
研究紹介
基礎講座
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