応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
88 巻 , 1 号
『応用物理』 第88巻 第1号
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Science As Art
焦点
今月号の概要
解説
研究紹介
  • 石原 良一, トリフノビッチ ミキ, スベルナ パオロ, 下田 達也
    2019 年 88 巻 1 号 p. 26-30
    発行日: 2019/01/10
    公開日: 2019/09/20
    ジャーナル 認証あり

    印刷エレクトロニクスはフレキシブル電子デバイスを低コスト・低環境負荷で生産できる可能性があることから注目されている.シリコン(Si)は高移動度,高信頼性のみならず,CMOS低消費電力回路を実現できる理想的な半導体材料であり,Siインクである液体Siの開発により印刷も可能となった.植物由来材料である紙基板と組み合わせることで,生分解可能な商品包装用電子タグや,経口摂取可能なバイオセンサなどへと応用発展できる.しかしこれまで,Siインクの焼成には350°C以上の温度が必要であった.本稿では,液体Siの基本と,我々が開発した液体Siインクを用いた低温ポリSi膜形成技術,紙基板上に作製した薄膜トランジスタとその特性を紹介する.

  • 伊藤 俊樹
    2019 年 88 巻 1 号 p. 31-35
    発行日: 2019/01/10
    公開日: 2019/09/20
    ジャーナル 認証あり

    ナノインプリントリソグラフィ(NIL)は,ナノスケールの微細加工技術として有効な技術であることが示されてきた.本稿では,NANDフラッシュメモリやDRAMなどの先端デバイスへの適用に向け開発している新しいインプリント装置の紹介,技術開発の進捗状況,ほかの先端半導体デバイス量産装置候補よりも魅力的な生産コストで,かつ将来の要求仕様に適したインプリント技術の展望について報告する.

  • 林 真市
    2019 年 88 巻 1 号 p. 36-40
    発行日: 2019/01/10
    公開日: 2019/09/20
    ジャーナル 認証あり

    超解像蛍光顕微鏡は,従来よりも高い空間分解能が得られるため,それまでは直接観察が不可能であった生体内のタンパク質分子の個々の働きを解明できるものと生物学分野からの期待が高い.しかし,その方法の多くは複数枚の撮像を必要とするなど撮像に要する時間が長くなり,時間分解能が犠牲になっていた.筆者らは,時間分解能を犠牲にしない超解像法を目指し,1枚の撮像から従来の2倍の分解能を得ることができるスピニングディスク超解像顕微鏡法を開発した.本稿では,その原理および構造化照明顕微鏡法との類似性について解説する.

  • 溝口 計, 児玉 健, 柳田 達哉, 斎藤 隆志
    2019 年 88 巻 1 号 p. 41-45
    発行日: 2019/01/10
    公開日: 2019/09/20
    ジャーナル 認証あり

    半導体の微細化の進展とともに光リソグラフィ光源の短波長化が進んできた.KrF,ArF,ArF液浸,マルチパターニングと進展し,10nm以下のデザイン寸法では極端紫外線(EUV)波長でのリソグラフィが熱望されてきた.近年,光源の性能改善が進み半導体製造現場での250W運転の成功も報告され,ロジックデバイス製造メーカを中心にEUV露光装置の導入が大きく進展している.本稿では,昨今の世界規模での進展について解説するとともに,半導体量産用のレーザー誘起SnプラズマによるEUV光生成の現状について主要な要素技術すなわち,①プリパルスによる変換効率の向上,②LPP生成Snプラズマのトムソン散乱による計測,③高出力CO2レーザーの開発,④磁場デブリミチゲーションを中心にした技術報告も行う.

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