超純水は,集積回路の製造プロセスの各段階でウエハーと直接接触するため,その水質は回路素子の歩留りに直接影響する.筆者らは,水質の監視と向上のための道具として,超純水中の微粒子を光学的に測定する装置の開発を行っている.
現在,量産が行われている4MビットDRAMクラス対応の超純水では,粒径0.07~0.08μm以上の微粒子が1m
l中に数個以下,生菌が1
l中に5個以下の水質が求められており,測定装置は,この水質を評価できる性能を備えていなければならない.
本文では,筆者らが開発したレーザー走査型微粒子測定装置と,現在開発を行っている細菌数の測定装置を紹介する.
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