色材協会誌
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81 巻, 12 号
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技術論文
  • インクジェット法によるLTCCへの銅電極の作製
    坂井 雄一, 二口 友昭, 安達 正利
    2008 年 81 巻 12 号 p. 493-497
    発行日: 2008/12/20
    公開日: 2009/03/20
    DOIhttps://doi.org/10.4011/shikizai.81.493
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    インクジェット法によるLTCCへの卑金属配線形成について検討した。水系のCuO含有インクジェット用インクを作製した。このインクをLTCC用グリーンシートにインクジェット法にて印刷した。印刷後の顕微鏡観察の結果，グリーンシートへの酸素プラズマ処理がインクのグリーンシートへの濡れ性向上に有効であることがわかった。X線光電子分光の結果，酸素プラズマ処理によりLTCC表面に親水基が増加することがわかった。CuOインク膜が印刷されたグリーンシートを積層し，3％H2-N2雰囲気で焼成した。XRDおよびEPMAより，CuOは焼成によりCuへと還元されることが明らかとなった。また，CuとLTCCの間の反応や拡散は見られなかった。焼成後の積層セラミックス内部のCuの体積抵抗率は約18 μΩ·cmであった。以上より，酸化物インクによるLTCC多層基板への卑金属配線描画の可能性が示された。
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解説
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色材における基礎科学講座（第XVII講）
―精密高分子合成―
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