色材協会誌
Online ISSN : 1883-2199
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92 巻, 3 号
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―小特集 顔料技術の最新トレンド―
解説
解説
総説
研究論文
  • 半澤 将希, 大日向 秀収, 川野 伸一, 赤松 允顕, 酒井 健一, 酒井 秀樹
    2019 年 92 巻 3 号 p. 82-86
    発行日: 2019/03/20
    公開日: 2019/04/04
    ジャーナル 認証あり

    炭酸エチレン(EC)と炭酸プロピレン(PC)の混合溶媒中におけるフォトレジスト粒子の分散性ならびにITO基板に対する吸脱着性を評価した。また,ITO基板へのフォトレジスト粒子の再付着を防止する目的で,プルロニック系界面活性剤(F-68)の添加効果を検証した。フォトレジスト分散液(EC/PC混合溶媒)に水を添加すると,その添加量にともなって分散液は懸濁した。水晶振動子マイクロバランス(QCM-D)測定の結果より,水の添加量が増加すると,ITO基板に対するフォトレジスト粒子の残存量も増大することがわかった。一方,F-68を添加すると,水量を増加させても,フォトレジスト分散液は透明性を有し,ITO基板に対するフォトレジスト粒子の残存量も著しく減少した。水の添加にともない,ITO基板およびフォトレジスト粒子の表面に吸着したポリエチレンオキシド鎖間の立体斥力が強まったことに起因していると考えられる。

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