巻号一覧
41 巻, 6 号
選択された号の論文の16件中1～16を表示しています
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小野 京右2002 年 41 巻 6 号 p. 381-386
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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山口 高司2002 年 41 巻 6 号 p. 387-392
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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市原 順一2002 年 41 巻 6 号 p. 393-398
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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平田 光男2002 年 41 巻 6 号 p. 399-405
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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原 辰次, 山浦 弘2002 年 41 巻 6 号 p. 406-411
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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Tsung-Lin CHEN, Yunfeng LI, Kenn OLDHAM, Roberto HOROWITZ2002 年 41 巻 6 号 p. 412-420
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
ジャーナル フリーMEMS (micro-electro mechanical systems) 技術を用いた2段マイクロアクチュエータ (MA) の設計, 製造, そして制御系設計について述べる. 設計したMEMSマイクロアクチュエータは, ヘッドを搭載したスライダを駆動する第二世代の2段アクチュエータである. マイクロアクチュエータは, 平行板の静電アクチュエータと相対変位検出センサからなり, シリコンジンバルで支持される. 低電圧で高トルク出力が得られる電極構造の工夫を施している. つぎに, MEMSマイクロアクチュエータによる2段サーボシステムのトラックフォロイング制御系の設計について述べる. ボイスコイルモータとマイクロアクチュエータの非干渉化法と離散時間極配置設計について示す. 最後に, マイクロアクチュエータの製造プロセス起因の機構共振変動を補償するセルフチューニング型の適応制御について述べる.抄録全体を表示PDF形式でダウンロード (4842K) -
山浦 弘2002 年 41 巻 6 号 p. 421-427
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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沼里 英彦2002 年 41 巻 6 号 p. 428-431
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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有賀 敬治2002 年 41 巻 6 号 p. 432-435
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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高倉 晋司2002 年 41 巻 6 号 p. 436-439
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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片山 剛2002 年 41 巻 6 号 p. 440-443
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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小林 正人2002 年 41 巻 6 号 p. 444-447
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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仙波 哲夫, Fu-Ying HUANG2002 年 41 巻 6 号 p. 448-451
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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原 武生2002 年 41 巻 6 号 p. 452-455
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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石川 潤2002 年 41 巻 6 号 p. 456-462
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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堀 孝正, 石井 六哉2002 年 41 巻 6 号 p. 463
発行日: 2002/06/10
公開日: 2009/11/26
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