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瀬川 大志, 鷹野 一朗
セッションID: 1P43S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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TiO
2は光触媒特性が優れており、ビル外壁や手術室の内壁などに応用されている。しかし、TiO
2の欠点として吸収波長が紫外光に限られており、可視光での光触媒効果が低いことが知られている。その対策として、薄膜に電圧印加を行うことで光触媒効果の向上が確認されている。著者らはスパッタリング法を用い各種金属膜上に成膜し、TiO
2薄膜への電圧印加による光触媒特性を調査した。
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猪ヶ倉 大晟
セッションID: 1P44
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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シラス薄膜は超親水性を示し、防曇材料としての応用が期待されているが、一般的な防曇材料と同様に有機物吸着や表面の摩擦により防曇性は劣化する。本研究では防曇性の耐久性向上を目的として、従来のシラノール基に基づいた親水特性に毛細管現象を利用した吸水効果を付加したシラス薄膜の作製を行った。具体的な手法としては、柱状構造の形成による多孔質化とエッチングによる柱状構造表面のさらなる微細化を試みた。
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津曲 良子
セッションID: 1P45
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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バイオチップの材料として注目されているPDMS(PolyDiMethylSiloxane)は表面親水化により送圧不必要なリアクターとして実用化が期待されている。しかし我々が開発した親水材料であるシラス薄膜とPDMSはヤング率の違いから座屈現象が起こり、親水特性が劣化する。本研究では逆スパッタ法を用いてPDMS基板の表面改質を行うことで座屈現象を軽減させ、PDMS基板上への親水性薄膜の堆積を試みた。
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下渡 篤志
セッションID: 1P46
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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機能性薄膜は、その機能発現のために構造を結晶化することが一般的であり、特に低損失のパワーデバイス材料として注目されている炭化ケイ素もその1つである。しかし近年、耐熱性に劣る基板上への成膜等、薄膜構造の重要な制御因子である基板温度、すなわち熱エネルギーを操作できない状況も多い。そこで本研究では、熱エネルギーに代わる薄膜構造制御因子としてスパッタ粒子の運動エネルギーを利用し、低温での結晶化を試みた。
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永野 寛太, 青井 芳史
セッションID: 1P47
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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薄膜表面への機能性分子の修飾は、薄膜へ新たな機能を付与するための有用な方法である。本研究では、ジアゾニウム塩を用いてアモルファス炭素薄膜上に電気化学的にポリアリール層を形成し、その後、ポリアリール層に含まれるニトロ基およびアゾ結合を、電気化学的にアミノ基に還元することによりアモルファス炭素薄膜表面をアミノ基で修飾することを試みた。
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前田 博之, 青井 芳史
セッションID: 1P48
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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本研究では電子サイクロトロン共鳴（ECR）スパッタリング法によって成膜されたa-C薄膜に、カルベン付加反応によりジブロモカルベンを修飾し、その後、鈴木－宮浦カップリング反応による4-フルオロフェニルの修飾を試みた。XPS測定より、カルベン付加反応後にはBrが確認されたが、カップリング反応後にはBrの減少とともにFが新たに確認され、a-C薄膜へのこれらの反応による表面修飾が可能であることが示された。
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岡野 夕紀子, 田尻 修一, 大西 孝則, 小川 倉一, 美馬 宏司
セッションID: 1P49
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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低温・低ダメージでの製膜方法であるN-MHVスパッタ法により、ポリイミドフィルム基板上へNi薄膜を形成し、薄膜作製条件と比抵抗および抵抗温度計数との関連性を調べた。その検討結果をもとに熱伝導真空計への適用性について詳細を報告する。
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諏訪 翁紀, 今泉 悟, 津田 和希, 中村 忠, 沖村 邦雄
セッションID: 1P50S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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本研究では、RFマグネトロンスパッタリングを用いて透明導電性AZドープZnO薄膜をガラス基板上に堆積させた。先行研究では、AZO結晶のc軸配向性が低抵抗率化に関与しており、イオンのエネルギーが結晶成長に影響を及ぼすことが報告されている。本研究では、Arガスに加えてHeガスを導入してAZOの電気的特性について調べた。
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城市 晃宏, 鷹野 一朗
セッションID: 1P51S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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近年，TiO2の様々な特性が注目されており,広く研究がされている。
先行研究では反応性スパッタリング法によりCu2Oを下層に形成し、吸
光波長の拡大を試みた。これまでに酸化物中間層を挿入することによ
り光触媒効果が改善されることが分かっており、本研究では中間層にZnO
を用い、酸素流量を変化させることにより光触媒特性の最適条件を調査
した。
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岩崎 賢司, 鷹野 一朗
セッションID: 1P52S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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近年，DLCをはじめとする機能性炭素薄膜が注目されている。これらの炭素膜は環境負荷が小さく，電気的特性の他，機械的特性として高硬度，低摩擦性，耐摩耗性などを有することから，電子部品から摺動機械部品まで広範囲での利用が期待されている。本研究室では，ステンレス鋼(SUS304)、Al，Si基板に対して密着性の改善を目的として界面でミキシング層形成が可能なイオンビームアシストによる成膜法と試みた。
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野末 周平, 上部 智也, 藤原 裕司, 神保 睦子, 小林 正
セッションID: 1P53
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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アモルファスCoFeSiB薄膜はHfやZrなどの添加により，耐熱性を向上させることができた．本研究では，様々な組成の CoFeSiBHf薄膜の磁気特性，構造および磁歪特性を評価した．飽和磁化はCoFe組成とともに単調に増加する傾向にあった．磁歪定数はHf組成ではなく，SiB/CoFe組成比に依存しており，組成比の減少とともに4ppm程度まで増加した．
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一戸 隆久, 大野 秀樹
セッションID: 1P54
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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チタン酸化物薄膜は光触媒、太陽電池、光・ガスセンサ、透明導電膜などへの応用が期待されており、広く研究されている。本報告ではプラズマアシスト蒸着法やスパッタリング法を用いてチタン酸化物薄膜を形成し、電気的・光学的な諸特性評価から透明導電膜への応用について検討する。
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庭野 道夫, 馬 騰, 但木 大介, 平野 愛弓
セッションID: 1P55
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
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規則的なナノ細孔を有する多孔質アルミナ薄膜を通して高圧ガスを溶液内に噴射することでナノバブル（NB）を発生させる新規手法を提案し､生成したNBの粒径分布をナノ粒子トラッキング解析法（NTA）を用いて調べた。ＮＢの粒径は50 -150nmであり、内包ガスの種類によって粒径が異なることが分かった。
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安藤 淳, 宮脇 淳, 久保 利隆
セッションID: 1P56
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
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二硫化モリブデンをはじめとした遷移金属ダイカルコゲナイドは、他の原子薄膜材料と同様に「比表面積」が大きく、その応用展開には、表面の理解と制御が重要となる。本発表では、シリコンやシリコン酸化膜のエッチングにおいて特異的な性能を有する「吸引プラズマ法」を遷移金属ダイカルコゲナイド表面に適用し、表面形態変化や電気的特性変化を走査型プローブ顕微鏡、ラマン分光、FET電気特性等で調べた結果を報告する。
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長谷川 瞬, 國貞 雄治, 坂口 紀史
セッションID: 1P57S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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久保 利隆, 宮脇 淳, 清水 哲夫, 新堀 俊一郎, 高橋 賢, 安藤 淳
セッションID: 1P58
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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２次元層状物質（遷移金属カルコゲナイド）は新規電子デバイス材料として、近年、多くの研究が行われている。さてこれらの2次元材料を実デバイスとして用いるためには、機能を発現する2次元材料と電極の間の電気的な接点を適切に取る事が必要である。本研究では、理想的な電極作製を目指して、プラズマ処理により数10nmオーダーの無数の穴状構造を作製し、STMによる構造観察と、実デバイス計測を行ったので報告する。
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惠良 将輝, 市川 優史, 岡井 大祐, 藤井 俊治郎, 本多 信一, 福地 真也, 松原 俊明
セッションID: 1P59S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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秋吉 佑紀彦, 佐藤 英樹
セッションID: 1P60
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
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グラフェンの成長方法として現在，炭化水素ガスを炭素源とする化学気相成長（CVD）法が用いられている。一方，基板上にあらかじめ炭素薄膜を形成し，これをグラフェン膜にすることができれば，従来のCVD法よりも大面積なグラフェン成長が可能になることが期待できる。本研究では、スパッタ法を用いて金属基板上炭素膜を成膜し，これをアニールすることによりグラフェンの成長を試みた。
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上野 泰幸, 川田 博昭, 平井 義彦, 安田 雅昭
セッションID: 1P61
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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衝突断面積を用いて電子線の弾性衝突効果を確率的に組み込んだ分子動力学法により，電子線改質されたグラフェンナノリボンの構造モデルを作成し，熱輸送特性を解析した．電子照射により導入された構造変化に応じたグラフェンナノリボンの熱輸送特性の変化が見られた．
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元川 陽介, 山﨑 誉之, 今浪 聡史, 山田 雄也, 内藤 正路, 碇 智徳
セッションID: 1P62
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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我々はSiC表面分解法を用いたグラフェン形成に関する研究を行っている。
SiC表面分解法ではSiC基板を高温で加熱しなければならず、高品質のグラフェンを得るためにはプロセスの低温化が必要になってくると思われる。あらかじめSiC基板にイオンビームを照射しておくことで、グラフェンの低温形成が可能ではないかと考え、様々な条件で実験を行った。
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黒田 雄貴, 大島 義文
セッションID: 1P63
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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シリコンナノワイヤは、直径数nmほどになると、特有の物性が現れることが指摘されている。その物性は、ナノワイヤの形状などにも依存すると考えられるため、構造を観察しながら同時にその物性を計測する実験が望まれる。本研究では、STM機能を組み込んだ電子顕微鏡用ホルダーを用いて、透過型電子顕微鏡(TEM)内でシリコンナノワイヤを作製し、その電気伝導特性と構造を同時に観察した結果を報告する。
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丸山 隆浩, 熊倉 誠, 才田 隆広
セッションID: 1P64
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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単層カーボンナノチューブの作製には，一般に遷移金属ナノ粒子が触媒として用いられる。しかし，ナノチューブ生成中の触媒粒子の化学結合状態に関して，in situTEM観察の報告はあるものの未だ統一した見解が得られていない。本研究では，単層カーボンナノチューブ生成中のFe，Co，Ni触媒粒子の化学結合状態を，オペランドXANES測定により，明らかにした。
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岡本 幸樹, 清水 智弘, 伊藤 健, 新宮原 正三, 田中 秀吉
セッションID: 1P65
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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二硫化モリブデン(MoS
2)は二次元層状材料であり、結晶構造由来の特徴的な物性を持つことが知られている.さらに,MoS
2は水素化触媒としての機能も報告されており,ナノワイヤ化による表面積の増加は機能の向上につながる.本研究では自己組織化を利用した鋳型を用いてMoS
2膜の表面形状を変化させ,ナノワイヤ化がMoS
2膜の物性や結晶構造へ及ぼす影響を調査した.
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石関 圭輔, 笹岡 健二, 山本 貴博
セッションID: 1P66S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
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本研究では、時間に依存する開放系シュレディンガー方程式と分子動力学法を組み合わせた電気伝導シミュレーション手法を用いて、有限温度における不純物をもつカーボンナノチューブの電気伝導特性を調査した。本講演では、不純物による弾性散乱とフォノン散乱による非弾性散乱の2つの効果を同時に取り込んだカーボンナノチューブの電気伝導特性について報告する。
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橋本 優奈, Goh Kian, 浅井 哲也, 桑原 裕司, 赤井 恵
セッションID: 1P67S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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脳の機能を人工的に再現しようとするニューロモルフィック工学において、自発的スパイク発生機能はまだ十分利用されていない。カーボンナノチューブ(CNT)とポリオキソメタレート分子(POM)の高密度ネットワークは、神経細胞発火に似たインパルス状信号を発生させる。我々は特殊な電荷蓄積特性を持ったPOM分子のネットワークモデル計算から、確率的な電子の捕獲と放出がスパイク発火と雑音発生をもたらすことを示した。
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小澤 真一郎, 阿部 洋
セッションID: 1P68
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
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ドーパミンなどの生体分子は、様々な生命活動の調節を行っており、生体活動により増減する事が知られている。これらは通常の金電極上では不可逆な酸化還元反応を示す。金電極表 面をカルボキシル基やアミノ基を有するチオール化合物の自己組織化単分子膜(SAM)によって修飾し、機能化を行った。ドーパミンが、様々なチオール修飾金電極上で、どのような酸化還元反応を示すかを検討した。
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谷口 怜菜, 石倉 航, 山〓 崇之, 志賀 元紀, 青柳 里果
セッションID: 1P69S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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飛行時間型二次イオン質量分析法は、生体分子の計測に有用と考えられているが、スペクトル情報が複雑で解釈が難しいため、スパースモデリングの代表的な手法であるLASSOを応用することで、より正確かつ容易なデータ解析を目指す。
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長谷川 瑞希, 山〓 崇之, 長山 佳之, 矢田部 恵, 小川 千晶, 谷地 豊, 井上 元基, 青柳 里果
セッションID: 1P70S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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抗がん剤の容器材料に対する吸着状況を明らかにするため、抗がん剤に浸した材料を複数回洗浄したのち、飛行時間型二次イオン質量分析を用いて測定することにより、洗浄回数と吸着程度の関係を調べた。
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河原 敏男, 平松 宏明, 大海 雄介, 鈴木 康夫, 林 京子, 中北 愼一, 渡邊 洋平, 大野 恭秀, 前橋 兼三, 小野 尭生, 金 ...
セッションID: 1P71
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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インフルエンザは人獣共通感染症であり、その原因ウイルスは非常に変異しやすい。そこで、感染性を含めた早期変異を検出する超高感度センサーが求められ、複数の糖鎖での反応性評価を行い、検出分子系として適当な糖鎖分子の探索を行っている。本発表では、SGPでの反応性のばらつきを抑えるため、糖鎖を持たないタンパク質であるBSAへの固定化を検討した結果について述べる。
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住 拓磨, 山本 英明, 早川 岳志, 井手 克哉, 木野 久志, 田中 徹, 平野 愛弓
セッションID: 1P72S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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近年，細胞のメカノセンシティビティに関する研究が多くされており，細胞の振る舞いと細胞周辺の物理量の関係性が注目されている．我々は，基質材料の弾性率と神経細胞のシナプス特性との関係性に注目し，脳の弾性率を模倣した超軟ゲル材料上でラット大脳皮質神経細胞を培養する手法を確立し，パッチクランプ法およびCaイメージングにより神経活動を記録，解析したので，その結果を報告する．
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加藤 美生, 井上 遥, 山浦 大地, 横田 澪央, 小宮 麻希, 但木 大介, 山本 英明, 戸澤 譲, 庭野 道夫, 平野 愛弓
セッションID: 1P73S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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我々はイオンチャネルを人工脂質二分子膜に包埋した再構成系に基づく薬物スクリーニング系の開発を目指しており、シリコン(Si)微細加工に基づく 安定な脂質二分子膜の構築や、イオンチャネルの膜への包埋促進について報告してきた。今回、この膜系を無細胞合成系を用いて合成したhERG チャネルに展開し、このチャネルに対する薬物副作用の定量化を試みたのでここに報告する。
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佐藤 大輝, 宮本 洋雄, 田邉 一郎, 稲垣 耕司, 森川 良忠, 福井 賢一
セッションID: 1P74S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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イオン液体は有機電界効果トランジスタの有効な電解液として期待されているが、その電気二重層における挙動の理解は未だ十分でない。そこで古典分子動力学計算によって各種有機半導体電極に接する界面イオン液体の局所構造と運動性を解析した。その結果、イオンはフラーレン電極上で電位に応じて異なるサイトに局在し、周期的な局所構造を形成した。一方、ルブレン電極上では電位によらずランダムな構造をとることが確認された。
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難波 亮太郎, 田邊 一郎, 福井 賢一
セッションID: 1P75S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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イオン液体は難燃性・化学的安定性等の特徴をもち、二次電池等への応用が期待されている。しかし、イオン液体は固体電極との界面で構造化し、そのことが時にデバイス効率を下げる原因となる。電極の表面構造とイオン液体の構造化の相関の評価のため、Ar気流中でのHOPG基板の熱処理により表面にサブμmサイズの穴構造を作製し、その近傍でのイオン液体BMIM-TFSIの構造化を周波数変調原子間力顕微鏡により評価した。
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近藤 敏啓, スマラン クマール サイ, 大浜 綾乃, 新井田 麻子
セッションID: 1P76
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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電極表面の微量な質量変化、および界面の密度、粘度、電極面積がわかるEQCMを用いて、種々の電解質溶液中におけるリチウム負極反応を追跡した結果について報告する。
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森田 浩介
セッションID: 2Aa01
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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この世界に存在するものは全て90種類ほどの元素で構成され、全て我々の住む宇宙の進化の中で合成されてきました。人類は元素を天然に存在する物質の中から抽出して様々な用途に用いています。原子番号が93を超える元素は全て人工合成されました。原子番号が104を超える元素は『超重元素』とよばれ、新元素の発見は新しい『超重元素』の合成とともに行われてきました。約30年に及ぶ研究の過程、実験の詳細をご紹介します。
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塚田 捷
セッションID: 2Aa02
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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超高真空技術と各種表面計測法の進歩により、およそ1980年代頃には精密科学としての表面科学が勃興した。その後の表面科学は、基礎研究の深まりと共に、触媒科学、ナノ物性、電池・電気化学、半導体デバイス技術、ソフトマテリアル、バイオ科学など広範な応用領域へと展開し続けている。走査プローブ顕微鏡と分子架橋系を例にして、理論と実験との協働によって進展した研究の現状と将来展望を述べる。
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荒川 泰彦
セッションID: 2Aa03
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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半導体量子ドットは，結晶成長技術の発展によりエレクトロニクスやフォトニクスを支える基本ナノ構造の一つまで進化した．特に，量子ドットレーザーは，電子のエネルギーの完全離散性を利用した初めての量子力学的実用素子と位置付けられている．本講演では，量子ドット研究の歴史的発展を述べるとともに，量子ドットがもたらす物性科学や新たな光・量子素子を中心にして，量子ドット技術の現状と展望について論じる．
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Xiao Xudong
セッションID: 2Bpi01
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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D’Ambrosio C., Nauman K.
セッションID: 2Bpi03
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
フリー
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Chu Y. H.
セッションID: 2Bpi05
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
フリー
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Im Hyunsik, Kim Hyungsang
セッションID: 2Bpi08
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
フリー
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Domen K.
セッションID: 2Bpi10
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
フリー
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Fukui K.
セッションID: 2Bpi12
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
フリー
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藤田 大介
セッションID: 2Cp01
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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超高真空から極高真空にいたる過程における系からのガス放出のメカニズムについて，基礎的な真空排気モデル，定量的なガス放出計測，ならびに実真空容器による事例解析に基づいて俯瞰する。大気暴露後の主たる残留気体種は器壁に吸着した水分子である。ベーキング処理がなされた真空容器内の気体種は水素分子であり，極高真空発生には水素排気速度を十分に有する排気系が重要となる。極高真空発生の事例についても紹介する。
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小川 直樹, 横山 浩司, 寺岡 秀展, 石井 高志, 播間 かな子, 後藤 守良, 橘高 怜治, 栗巣 普揮, 山本 節夫
セッションID: 2Cp02
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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微細化や超薄膜化の進行に対応するための半導体デバイス製造装置向けの，ガス放出を極端に少なくする真空材料用表面処理および加工処理を開発するに先立ち，極微量のガス放出量を評価することが可能なガス放出速度測定装置を開発した．開発したガス放出速度測定装置を使用して，未処理，機械研削，化学研磨など種々の表面処理を施工したアルミニウム試料のガス放出を測定し，比較評価をおこなった．
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三上 恭平, 栗巣 普揮, 山本 節夫, 塩野入 正和, 吉原 正
セッションID: 2Cp03S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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著者らは、非常に低いガス放出速度10
-12 Pams
-1を測定できるチタン製超低ガス放出速度測定装置を開発した。本講演では、開発したガス放出速度測定装置を用いてアルミニウムのガス放出速度を測定した結果について述べると共に装置性能について議論する。
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岸川 信介, 佐々木 優直, 松本 信彦, 黒岩 雅英, 林 雄造, 吉田 肇
セッションID: 2Cp04
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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完全封止ガス分析法 (Buildup) は、弊社の超低ガス放出 RGA（WATMASS - MPH）の技術と超低ガス放出真空構造材 （0.2% BeCu 合金）の技術を組み合わせた新しい発想のガス分析法です。WATMASS - MPH の持つ卓越した分析性能より、e-16Pa m
3/s (He) 以下を可能にする新しいガス分析装置を企画提供します。
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山田 逸平, 荻原 徳男, 引地 裕輔, 神谷 潤一郎, 金正 倫計
セッションID: 2Cp05S
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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櫻井 誠, 西田 尚史, 堀 結喜, 山内 亜香音, 池田 時浩
セッションID: 2Cp06
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
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多価イオンは価数に応じて増加する内部エネルギーを持つ。多価イオンは微細加工への応用が考えられるが、電子レンズを用いた収束法では数mm程度までしか収束できない。ガラスキャピラリーを用いた収束法を用いると多価イオンビームをマイクロやナノサイズまで収束できる可能性がある。本研究では、Kobe-EBISを用いて生成された多価イオンビームをガラスキャピラリーを用いて収束させる実験を行った。
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吉田 肇, 新井 健太, 中島 秀敏, 三浦 寿夫, 猪狩 明大, 片野 雅, 五十嵐 望, 臼井 登
セッションID: 2Cp08
発行日: 2018年
公開日: 2018/11/19
会議録・要旨集
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