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佐々木 巌, 小熊 清典, 浜尾 聡和, 蛯名 武雄
セッションID: 6Ca-08
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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産業技術総合研究所開発の「クレースト」は,ガス放出速度が市販の真空用樹脂よりも低く,放出ガス主成分は水である.従って,真空中においても利用可能性が高いことがわかった.
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ペリーニ マルコ
セッションID: 6Ca-09
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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The new spiral drag stage allows the design of vary compact, high compression ratio turbo-drag pumps.The comparison of two turbo-drag pumps with the new spiral design, in the size of 700L/s and 2,000L/s, with existing Gaede and Holweck based products of the same size is presented, showing the technology advantages of the new design.
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宮川 仁, 金 起範, 神谷 利夫, 平野 正浩, 細野 秀雄
セッションID: 6Cp-01
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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ナノ構造を利用したセメント鉱物 C12A7の金属化:高透光性導電体薄膜の作製と低仕事関数を利用した電子注入電極への応用
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木村 康男, 但木 大介, 大場 朋央, 庭野 道夫
セッションID: 6Cp-02
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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ルブレンの単結晶を用いてOFETの動作特性に及ぼすソース電極/有機膜界面の影響を調べた。輸送特性から見積もられる見かけの移動度は、単結晶の厚さや電極材料、チャネル長に依存しており、飽和ドレイン電流の温度依存性は、電極/有機界面におけるホールの熱電界放出特性によって説明された。つまり、OFETの特性は、チャネルにおける電荷量のみによって制御されておらず、電荷注入特性が大きな影響を大きな影響を与えている。
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深谷 有喜, 河裾 厚男
セッションID: 6Cp-03
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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K/Si(111)-√3×√3-B表面はモット絶縁体表面として知られている。最近、この表面が270 K以下で2√3×2√3構造へ相転移することが報告され、新たな絶縁体表面の可能性が示唆されている。この表面は、これまで実験的に原子配置の決定がなされていない。本研究では、反射高速陽電子回折を用いて、室温と低温におけるK/Si(111)-B表面からのロッキング曲線の測定と解析から、K原子の原子配置とその相転移に伴う原子変位について報告する。
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岡崎 一行, 森川 良忠, 田中 真悟, 香山 正憲
セッションID: 6Cp-04
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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燃料電池電極触媒としてよく用いられるPt/炭素系の安定構造を調べるために、第一原理計算手法を用いて、Pt-graphene間の相互作用を調べた。その結果、クラスターサイズが大きくなると相互作用が弱くなり、原子空孔や添加物によって、相互作用の様子が変化することを明らかにした。
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町田 考洋, 郭 東輝, 近藤 剛弘, 中村 潤児
セッションID: 6Cp-05S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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グラフェンなどの炭素材料が持つ特異な物性が、触媒機能や担体機能に及ぼす影響には興味が持たれる。我々はこれまでに、グラファイトの局所電子状態が欠陥導入により変化することを明らかにしてきた。本研究では、層間内にカリウムをドープしたグラファイト表面の局所電子状態を、極低温走査トンネル顕微鏡により測定した。さらに、欠陥を導入した場合との比較を行った。その結果、
EF付近の電子状態を制御する可能性を見出した。
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劉 傑, 一色 弘成, Katoh Keiichi, Yamashita Masahiro, Miyasaka Hitoshi, Breed ...
セッションID: 6Cp-06S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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We studied triple-decker tris(phthalocyaninato)yttrium (Y2Pc3) molecules deposited on Au(111) surface with with using a low-temperature scanning tunneling microscope (STM). It is shown that the triple decker molecule can be successfully transferred to Au(111) surface by a sublimation method in the ultra-high vacuum condition. A monolayer film of Y2Pc3 is observed with a height of ~0.55 nm from bare.
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一色 弘成, リュウ ジェ, 加藤 恵一, 山下 正廣, ロレンテ ニコラス, 米田 忠弘
セッションID: 6Cp-07S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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2層フタロシアニン+金属の構造をもつ分子は新しいナノデバイスとしての応用が期待されている。本研究では2層フタロシアニン分子をAu(111)上に蒸着して、分子の吸着構造とスピン状態を走査トンネル顕微鏡(STM)で観察した。走査トンネル分光法により、近藤ピークが観察された。この近藤ピークの由来はフタロシアニン配位子上の不対π電子と考えられる。分子の形状変化によりスピン状態の変化を観察することができたので報告する。
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岡林 則夫, ポールソン マグナス, 上羽 弘, 今田 洋平, 米田 忠弘
セッションID: 6Cp-08
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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非弾性電子トンネル分光は、単一分子に対しても適応可能な、高感度の表面キャラクタリゼーション法である。本研究では、分子エレクトロ二クスにおいてベンチマーク分子として用いられるアルカンチオール分子に対し、走査トンネル顕微鏡と同位体ラべリングを用い、どのサイトが非弾性電子トンネル分光において活性であるかを調べたので報告する。また、DFTと非平衡グリーン関数を用いた計算結果との比較も行ったので報告する。
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本林 健太, 金 有洙, 上羽 弘, 川合 眞紀
セッションID: 6Cp-09S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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STMを用いたアクションスペクトル測定では、スペクトルの定量的理解の不足のため、様々な情報が見落とされてきた。本研究では、スペクトル形状を表わす一般的な関数を導出し、カーブフィットを用いたスペクトルの定量的解析方法を開発した。これにより得られる振動エネルギーの精度が上がると共に、反応次数や振動のエネルギー幅、スペクトルに直接現れない振動モードの励起などの新しい物理量及び現象の検知が可能となった。
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富松 宏太, 中辻 寛, 山田 正理, ヤン ビンハイ, ヤム チユン, フラウエンハイム トーマス, シュ ヨン, デュアン ウェンフー, ...
セッションID: 6Cp-10
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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STMを用いて探針からトンネルキャリアをGe(001)表面電子状態に注入すると、表面局所超構造を非局所的可逆的に変化させることができる。このような電子励起の表面構造変化を詳細に調べ、DFT計算の結果と比較することにより、表面振動モードの電子励起がこの現象の原因であることを明らかにした。
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中辻 寛, 新倉 涼太, 元村 勇也, 柴田 祐樹, 山田 正理, 飯盛 拓嗣, 小森 文夫
セッションID: 6Cp-11
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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Ge(001)表面にAuを1ML程度蒸着すると形成される、<110>方向に数十nmにわたって伸びる1次元鎖構造について、その原子構造と電子状態を走査トンネル顕微鏡および角度分解光電子分光を用いて調べた結果を報告する。電子状態は異方的な2次元金属状態を有することや、原子構造は1次元鎖方向に8倍の周期をもつこと、金属状態はこれを反映した8倍周期をもつことについて、詳しく議論する。
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松田 巌, 中村 史一, 湯川 龍, 小林 功佳, 一宮 彪彦
セッションID: 6Cp-12
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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固体表面上の吸着子は、双極子相互作用や水素結合などの吸着子間相互作用で表面超構造を形成することが知られている。本研究ではSi(111)表面上一価金属吸着で形成する√21x√21相について、その長距離秩序が表面電子を介した2次元吸着子間相互作用で決まることを実験及び理論的に証明できた。
超構造形成に下地電子状態が直接関与する機構はこれまでに報告がなく、講演ではその詳細を説明する。
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黒田 健太, 叶 茂, 木村 昭夫, Eremeev S. V, Krasovskii E. E, Chulkov E. V, 植田 義文, ...
セッションID: 6Cp-13S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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トポロジカル絶縁体は完全スピン偏極ディラック表面電子状態を持った特殊な物質として知られる。これまでに幾つかの物質でディラック表面電子が観測されている。その中、最近新たにタリウム系三元カルコゲナイド化合物がトポロジカル絶縁体の候補として予言された。本研究ではそのトポロジカル絶縁体の候補であるTlBiSe
2の角度分解光電子分光法によるディラック表面電子状態の直接観測を行った。
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永長 まゆみ
セッションID: 6Cp-14S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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遷移金属フタロシアニンは有機デバイス材料として注目されている。しかし、その電子構造は明らかになっていない。UPSによる詳細な実験は行われているが、その理論解析はまだ行われていない。実験結果の解析を行うために、今回は多重散乱理論を用いて、遷移金属フタロシアニンの価電子軌道からの角度分解光電子放出を解析した。
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大堀 祐輔, 篠塚 寛志, 藤川 高志
セッションID: 6Cp-15S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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光電子分光におけるプラズモン励起過程には内殻正孔によるintrinsicな過程と光電子の非弾性散乱によるextrinsicな過程がある。これらは量子力学的干渉を起こすと考えられ、プラズモンロス強度の計算には量子力学的な計算が必要である。本研究ではこれまで考慮されていなかった弾性散乱効果を取り入れてプラズモンロス強度の計算を行い、その効果がスペクトルに与える影響を検討する。
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長谷川 智
セッションID: 6Cp-16S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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Mo(100)にTiを蒸着後酸素と反応させることにより、Ti酸化物薄膜の合成を行った。作成条件に依存して(2×2)、(4×1)、(4×4)等様々な周期性の薄膜が得られた。Ti 3pスペクトルの解析から、(2×2)はTiO2、(4×1)、(4×4)はTiOよりなる薄膜と考えられる。Mo4dのクーパー極小を用いた測定より、薄膜の2次元電子状態を解明した。
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井川 麻衣, 高橋 昌男, 小林 光
セッションID: 6Da-01S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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シリコン(Si)太陽電池の裏面電極に球状のアルミニウム(Al)を用いると、フレーク状のAlを用いた場合よりもエネルギー変換効率が高かった。Al電極とSi基板界面付近をSEM観察した結果、球状のAlを用いた場合にはフレーク状のAlよりもAl-Si間の合金化が進行していた。XPS測定と熱分析の結果、Al粉末の形状、粒径と表面吸着有機物が合金化反応に影響を及ぼしていると結論した。
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原口 惟, 和田 敬広, 有賀 寛子, 高草木 達, 朝倉 清高
セッションID: 6Da-02S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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α-Sb2O4とVSbO4を組み合わせることで、炭化水素の部分酸化反応が実現すると考えられている。この反応では、Sb2O4で活性化した酸素がVSbO4に拡散し、VSbO4の反応活性を調整することで、部分酸化を実現するというリモートコントロールメカニズムが提案されている。このメカニズムが正しいとすると、Sb2O4の細線間隔を制御することで、触媒の特性をコントロールできることが期待される。そこで、電子線リソグラフィにより、Sb2O4細線の間隔を制御して、その触媒作用がどう変化するかを調べた。
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水野 淳史, 亀川 孝, 山下 弘巳
セッションID: 6Da-03S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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トリエトキシフルオロシランを用いた表面修飾により、スルホ基含有メソポーラスシリカの疎水化処理を行った。表面修飾後もメソ細孔構造および高い表面積は維持されていた。水吸脱着測定から、触媒表面の疎水化を確認できた。酸触媒特性をFriedel-Craftsアルキル化反応により評価した結果、疎水化処理により触媒活性が向上することを見いだした。これらの詳細について報告する。
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堀内 悠, 亀川 孝, 森 浩亮, 山下 弘巳
セッションID: 6Da-04S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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光析出法を用いて、Ti含有メソポーラスシリカ薄膜に銀ナノ粒子を担持することに成功した。この際、光照射時間の調節により銀の粒子サイズの精密制御が可能であった。さらに、ローダミン6G色素を固定化し、表面プラズモン共鳴を利用した色素の発光増強効果を検討したところ、銀粒子を含まない試料に比べ、およそ3倍の発光強度の増大を観測した。増強効果には、最適な銀の粒子サイズが存在することがわかった。
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鈴木 紀彦, 亀川 孝, 山下 弘巳
セッションID: 6Da-05S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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ポリメタクリル酸メチル(PMMA)コロイド結晶を鋳型に用い、マクロ孔を有するチタン含有メソポーラスシリカを調製した。シリカ細孔骨格内に組み込んだチタン酸化物種は、孤立四配位構造を有していた。酸化剤を用いた各種オレフィンのエポキシ化反応により触媒活性を評価したところ、マクロ孔の導入により反応活性が大幅に向上することがわかった。これは、マクロ孔が物質拡散の促進に寄与したためであると考えられる。
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鈴木 哲也, 鹿野 大志, 近藤 剛弘, 中村 潤児
セッションID: 6Da-06S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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N
2+イオン衝撃したグラファイトにPt微粒子を蒸着したモデル触媒に対してH
2-D
2交換反応を繰り返し行っても活性劣化を抑制できることを明らかにしてきた。そこでN
2+イオン衝撃したグラファイトに対してSTM/STS測定を行った結果、フェルミ準位近傍の状態密度が変調していることがわかった。この電子状態の変調がPt微粒子を安定化し、活性劣化を抑制したと考えられる。
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技術 1, 技術 2, 技術 3, 技術 4, 技術 5, 技術 6, 技術 7
セッションID: 6Da-07
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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種々の走査型電子顕微鏡を用いたイオン液体中での電極表面その場観察技術
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平井 悠司, 藪 浩, 松尾 保孝, 居城 邦治, 下村 政嗣
セッションID: 6Da-08S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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本研究室では高分子溶液を基板上に塗布することで、結露した水滴を鋳型としてハニカム状多孔質膜が形成することを見いだしている。またハニカム状多孔質膜の上面を粘着テープで剥がすことで、ピラー構造化膜が作製されることを報告している。本研究ではピラー構造化膜をシリコンのドライエッチングマスクとして用いたシリコンナノスパイクアレイの作製とフォトマスクを用いた超撥水と超親水表面のパターニングに付いて報告する。
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高橋 章仁, 石井 大佑, 藪 浩, 下村 政嗣
セッションID: 6Da-09S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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自己組織化を用いて作製したハニカム状多孔質膜から得られるナノピラー構造をもつ超撥水表面に、親水性のマイクロ構造を導入することで吸着性をもつ超撥水表面を作製できる。本報告では、親水性高分子のポリビニルアルコールが主骨格のマイクロドーム構造をもつ吸着性超撥水表面を作製し、その導入量の違いによる微小液滴の吸着制御を試みた。また、その他の機能性親水性高分子を導入した例についても報告する。
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角田 貴洋, 矢ケ崎 隆義, 鷹野 一郎, 桑折 仁, 金子 睦
セッションID: 6Da-10S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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プラスチック材料はすぐれた性能を持つ為、大量生産・大量消費されている。環境低負荷材料として生分解性プラスチックが挙げられるが、未だ使用されにくい現状がある。需要拡大の為、薄膜付与による多機能化が試みられ、多種薄膜材料において確立されつつある。しかしながら、基板の結晶構造と成膜性との関係性について研究された報告は少ない。
本研究では、微細構造を制御した基板への成膜性及び膜特性の把握を目的とした。
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服部 梓, 尾野 篤志, 田中 秀和
セッションID: 6Da-11
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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近年、ナノ構造体の新奇特性を解明しそれを積極的に利用することが試みられている。我々は、トップダウン方とボトムアップ法を組み合わせ、ナノ構造体の作製技術の開発を行っている。本研究では、トップダウン法であるナノインプリントでパターン化した基板上に、酸化亜鉛(ZnO)を成長させナノボックス構造の作製を行った。発表では、提案したナノ構造体の作製方法、作製したZnOナノボックス構造、その特性について報告する。
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柳下 崇, 西尾 和之, 益田 秀樹
セッションID: 6Da-12
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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高規則性ポーラスアルミナを出発構造として作製したNiモールドを用いた射出成型により,規則的なナノパターンを有するポリマー成形体の形成を行った結果を発表する.
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近藤 寛
セッションID: 6Dp-02
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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近い将来、登場しようとしているXFELやERL光源などの新放射光光源によって、表面化学の研究にも新しい切り口が生まれてくることが予想される。どのような研究が可能になりそうかについて、表面反応の研究に注目して紹介する。
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河田 洋
セッションID: 6Dp-03
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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KEKでは、ストレージリング型加速器が持つ電子ビームの輝度およびそのパルス幅の限界を2桁程度超え、かつ従来のリング型光源と同様に多くのユーザー実験を同時に行うことが出来るエネルギー回収型加速器(ERL)の実現に向けて、4年前に推進室を設置して、国内外の研究機関との協力のもとその技術開発を進めている。講演では、その開発状況とERLおよび共振器型XFEL-Oの光の特性とその応用研究をお話したい。
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登野 健介
セッションID: 6Dp-04
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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SPring-8 X線自由電子レーザーは2010年度に完成し、2011年度に供用開始が予定されている。本講演では、稼働を目前に控えたX線自由電子レーザーの原理、光の特性およびユーザー利用施設につて概説し、利用に際しての留意点などを述べる。また、表面科学をはじめとする物質科学への応用の可能性について議論を行う。
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熊谷 教孝
セッションID: 6Dp-05
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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川瀬 達也, 西谷 恵介, 打越 純一, 森田 瑞穂, 有馬 健太
セッションID: 6Ea-01S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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ゲルマニウム(Ge)は次世代トランジスタや光学デバイスの材料として極めて有望であるが、同時に薬液に対する耐性が低いという欠点があるため、表面構造をナノレベルで制御できるパターニング法が極めて乏しい。我々はGe(100)表面に貴金属微粒子を散布し、純水中に浸漬することにより、微粒子近傍で優先的な異方性エッチピットが形成されることを見出した。またバンド図に基づき、ピット形成メカニズムを考察した。
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陳 之文, 田 旺帝, 福井 賢一
セッションID: 6Ea-02S
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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アルミナに担持したRh種の構造についての前駆体依存性をSTM及びXAFSにより検討した。RhCl
3では金属的で大きなサイズのRhクラスターが生成される。一方、酢酸ロジウムを前駆体とした場合、前駆体の金属核を維持したRh種がアルミナ表面上に均一に分散されることを見出した。前駆体分解過程でのRhと担体Al
2O
3表面酸素との相互作用がRh種の性質を決定する重要な役割を果たしていることが分かった。
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澤本 恵子, 大槻 彰良, 谷屋 啓太, 市橋 祐一, 西山 覚
セッションID: 6Ea-03
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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バイオマスを原料として生産されるバイオアルコールは,基本的に多量の水を含んでいる。これらの含水アルコールをこれまでの石油化学プロセスに用いる場合,含まれる水分が悪影響を及ぼす可能性が高い。本研究では,金属酸化物担持MCM-41触媒上での2級アルコールを水素源として用いる水素移行反応をモデルとして,触媒プロセスシステムに耐水性を持たせることを目的として検討した。
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荻野 千秋, 近藤 昭彦
セッションID: 6Ea-04
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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「バイオリファイナリー」と呼ばれる、再生可能な資源であるバイオマス(木や草などの植物資源)から、バイオ燃料や多様なプラスチック(バイオプラスチック)、繊維(バイオ繊維)の原料を生産する試みが活発に行われている。微生物の細胞表層を活用して、バイオマスを糖まで分解した後に、微生物の力で多様な化学品原料に変換する戦略に関して講演を行う。
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冨重 圭一
セッションID: 6Ea-05
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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金属酸化物種で表面修飾した金属微粒子が、グリセリンや環状エーテルの水素化分解反応に活性であることを見出した。触媒構造の解析と反応機構について検討した結果を発表する。
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恩田 歩武
セッションID: 6Ea-06
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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代表的なアパタイト化合物であるハイドロキシアパタイトはCa10(PO4)6(OH)2の組成で骨や歯の主原料であり、Ca、PO4、OHの各サイトに様々なイオンを導入して構成元素の異なるアパタイト化合物を合成できる。バイオマス資源からエタノールと乳酸は多量に得られるため、エタノールや乳酸の変換プロセスの開発が望まれている。それらの反応に対し、アパタイト化合物がユニークな触媒特性を示すことを見いだした。
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荻原 俊弥, 永冨 隆清, 田沼 繁夫
セッションID: 6Ep-01
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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半球型電子分光器を搭載したAESのジオメトリ特性を利用することにより傾斜ホルダーにセットした試料は試料表面から極低角度で電子およびイオンを入射して深さ方向分析が可能である。この計測法によりデルタドープ層の検出の可能性について検討した。その結果,BN:0.05nmデルタドープ層のB,Nのオージェピークを検出することが可能であり,本計測法は極薄膜層の評価に応用できることが示唆された。
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瀬下 洋平, 木村 隆, 福島 整, 苅谷 義治
セッションID: 6Ep-02
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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ステンレス鋼表面に対する溶融スズの影響を明らかにするため、酸洗いをしたステンレス試料片(SUS304, SUS316)表面に対しマッフル炉中で溶融スズを接触させ350時間~4000時間保持させる処理を行い、処理前後の試料片表面のAES測定を行った。その結果、溶融スズは酸化被膜の欠損部からステンレス鋼表面に作用するのではなく、酸化被膜自体を浸潤していくことが観察できた。その際、酸化被膜中のFeの組成比も変化しているのが見られた。
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高野 みどり
セッションID: 6Ep-03
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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SASJ XPS-WGでは複数機関で同一の試料について、各機関の「標準的なスペクトル測定」を行った結果からXPS測定における課題を抽出し、その解決を目指して検討を行っている。本報告では「粉末酸化銀」の測定における測定条件およびサンプリングによるスペクトルへの影響についての検討結果を報告する。
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宮山 卓也, 眞田 則明, 鈴木 峰晴
セッションID: 6Ep-04
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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Arガスクラスターイオン線(GCIB)を用いた有機系材料への応用を発表する。XPSでは、ポリカーボネイト、ポリスチレンを低損傷で分析できること、金属上のポリイミド膜界面での接合領域の分析に関して報告する。TOF-SIMSでは有機ELの低損傷評価、ポリカーボネイト、ポリエチレンテレフタラートの低損傷分析および損傷を受けた領域をGCIBで除去し本来の状態に回復できることを示す。
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大友 晋哉
セッションID: 6Ep-05
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS)が産業界において広く使われるようになってきた中,表面分析研究会(SASJ)に2007年6月に発足したTOF-SIMSワーキンググループでは,TOF-SIMSの質量軸較正法に関して議論している。本講演では,これまで2007年,2008年,2009年に実施した3回のラウンドロビンテストを通じて得た知見と今後の展開について報告する。
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関 節子, 田村 一二三, 和田 恭雄, 筒井 謙
セッションID: 6Ep-06
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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SIMS分析をより精確に行うことを目標に,これまでメサ構造化により微小領域のデプスプロファイルの改善を得てきた。今回,nmオーダーのHfO2の薄層を試料に用い,メサ構造化とフラット試料についてSIMSデプスプロファイルを比較検討した。SIMS分析における,一次イオンエネルギー,走査領域,検出領域の調整,さらに機種による比較を行った。セクター型,Q-pole型,TOF-SIMSを用いて,デプスプロファイルを測定し,極浅層のSIMS分析の可能性を探った。
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松尾 二郎, 市木 和弥, 山本 恭千, 若松 慶喜, 青木 学聡, 瀬木 利夫
セッションID: 6Ep-07
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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二次イオン質量分析法を使った細胞や組織切片のイメージング技術についてのべるとともに、実際のアプリケーションに必要な問題点や課題を明らかにする。有機分子分析や質量イメージング法の実現に必要な一次イオンビームの特性、次世代のSIMSに求められているハードウェアーなどについても検討し、新しいSIMS分析法の開発状況を報告する。
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熊谷 和博, 関口 隆史
セッションID: 6Ep-08
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
会議録・要旨集
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低加速電圧走査型電子顕微鏡法 (LV-SEM) における二次電子像形成を理解するためには,低速一次電子と固体との相互作用のみならず,その電子光学系と密接に関係した二次電子検出系の特性も把握しておく必要がある.本講演では二次電子検出系に着目して従来のSEMとの差異を述べるとともに,LV-SEMにおいてしばしば観察される表面ポテンシャルを反映したコントラストについて議論する.
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吉川 英樹, 金 華, 田中 肇, 篠塚 寛志, 岩井 秀夫, 新井 正男, 田沼 繁夫
セッションID: 6Ep-09
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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エネルギー損失関数は、XPSやAESなどの電子分光法における非弾性散乱バックグラウンドやIMFPの導出に不可欠な物理量である。入射電子エネルギー可変&検出角可変の反射電子エネルギー損失分光スペクトル群から、因子分析の手法を使ってバルク励起と表面励起の寄与を分離し、バルク物性であるエネルギー損失関数を求める手法を開発した。Si, SiO2, GaAsなどの半導体材料を例にした結果を紹介する。
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田沼 繁夫, 篠塚 寛志, Powell C. J., Penn D. R.
セッションID: 6Ep-10
発行日: 2010年
公開日: 2010/11/04
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固体元素における電子のIMFP,SPはそれらのELFから計算によって求められるが,基盤となるELFは光学定数から計算によって求めるのが一般的である.従って,相互作用のエネルギー依存性は明快であるが,運動量移行依存性は用いるモデルに依存する.そこで,計算に用いられる誘電関数モデルの影響について検討した.
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