Metal Film Growth on Si Crystals with Medium Energy Ion Scattering

Takanori KOSHIKAWA; Tsuneo YASUE

doi:10.1380/jsssj.14.391

Takanori KOSHIKAWA, Tsuneo YASUE

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1993 Volume 14 Issue 7 Pages 391-396

DOI https://doi.org/10.1380/jsssj.14.391

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Published: September 10, 1993 Received: March 29, 1993 Available on J-STAGE: August 07, 2009 Accepted: March 29, 1993 Advance online publication: - Revised: -
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Date of correction: August 07, 2009 Reason for correction: - Correction: CITATION Details: Wrong : 1) W. K. Chu, J. W. Mayer and M. A. Nicolet : “Backscattering Spectroscopy” (Academic Press, New York, 1978).
2) L. C. Feldman, J. W. Mayer and S. T. Picraux : “Materials Analysis by Ion Channeling” (Academic Press, New York, 1982).
4) J. F. van der Veen : Surf. Sci. Rep. 5, 199 (1985).
8) E. J. van Loenen, J. F. van der Veen and F. G. LeGoues : Surf. Sci. 157, 1 (1985).
10) J. Vrijmoeth, P. M. Zagwijn, J. W. M. Frenken and J. F. van der Veen : Phys. Rev. Letters 67, 1134 (1991).
11) J. Vrijmoeth, S. Zaima, E. Vlieg and J. W. M. Frenken : Phys. Rev. B 45, 6700 (1992).
12) T. Yasue, C. Park, T. Koshikawa and Y. Kido : Appl. Surf. Sci. 70/71, 428 (1993).
13) T. Koshikawa, T. Yasue, H. Tanaka, I. Sumita and Y. Kido : Proc. of Symp, on Surf. Sci. (Kitzsteinhorn, 1993) p. 77.
14) T. Yasue, T. Koshikawa, H. Tanaka and I. Sumita : Surf. Sci. 287/288, 1025 (1993).
15) J. F. Ziegler : “Helium Stopping Powers and Ranges in All Elecments” (Pergamon Press, 1977).
16) E. J. van Loenen, M. Iwami, R. M. Tromp and J. F. van der Veen : Surf. Sci. 137, 1 (1984).
17) E. Daugy, P. Mathiez, F. Salvan and J. M. Layet : Surf. Sci. 154, 267 (1985).
18) H. Kemmann, F. Müller and H. Neddermeyer : Surf. Sci. 192, 11 (1987).
20) A. Kinomura, M. Takai, K. Matsumoto, S. Namba and T. Agawa : Nucl. Instrum. Methods B64, 576 (1992).
21) T. Koshikawa, H. Nakamura, T. Uchiyama, T. Katayama, K. Takagi, H. Yamakawa, S. Matsuura and E. Inuzuka : Vacuum 41, 1791 (1990).
22) R. M. Tromp, M. Copel, M. C. Reuter, M. Horn von Hoegen, J. Speidell and R. Koudijs : Rev. Sci. Instr. 62, 2679 (1991).
23) J. Falta, R. M. Tromp, M. Copel, G. D. Pettit and P. D. Kirschner : Phys. Rev. Letters 69, 3068 (1992).

Right : 1) W. K. Chu, J. W. Mayer and M. A. Nicolet : “Backscattering Spectroscopy” (Academic Press, New York, 1978).
2) L. C. Feldman, J. W. Mayer and S. T. Picraux : “Materials Analysis by Ion Channeling” (Academic Press, New York, 1982).
4) J. F. van der Veen : Surf. Sci. Rep. 5, 199 (1985).
8) E. J. van Loenen, J. F. van der Veen and F. G. LeGoues : Surf. Sci. 157, 1 (1985).
10) J. Vrijmoeth, P. M. Zagwijn, J. W. M. Frenken and J. F. van der Veen : Phys. Rev. Letters 67, 1134 (1991).
11) J. Vrijmoeth, S. Zaima, E. Vlieg and J. W. M. Frenken : Phys. Rev. B 45, 6700 (1992).
12) T. Yasue, C. Park, T. Koshikawa and Y. Kido : Appl. Surf. Sci. 70/71, 428 (1993).
13) T. Koshikawa, T. Yasue, H. Tanaka, I. Sumita and Y. Kido : Proc. of Symp, on Surf. Sci. (Kitzsteinhorn, 1993) p. 77.
14) T. Yasue, T. Koshikawa, H. Tanaka and I. Sumita : Surf. Sci. 287/288, 1025 (1993).
15) J. F. Ziegler : “Helium Stopping Powers and Ranges in All Elecments” (Pergamon Press, 1977).
16) E. J. van Loenen, M. Iwami, R. M. Tromp and J. F. van der Veen : Surf. Sci. 137, 1 (1984).
17) E. Daugy, P. Mathiez, F. Salvan and J. M. Layet : Surf. Sci. 154, 267 (1985).
18) H. Kemmann, F. Müller and H. Neddermeyer : Surf. Sci. 192, 11 (1987).
20) A. Kinomura, M. Takai, K. Matsumoto, S. Namba and T. Agawa : Nucl. Instrum. Methods B64, 576 (1992).
21) T. Koshikawa, H. Nakamura, T. Uchiyama, T. Katayama, K. Takagi, H. Yamakawa, S. Matsuura and E. Inuzuka : Vacuum 41, 1791 (1990).
22) R. M. Tromp, M. Copel, M. C. Reuter, M. Horn von Hoegen, J. Speidell and R. Koudijs : Rev. Sci. Instr. 62, 2679 (1991).
23) J. Falta, R. M. Tromp, M. Copel, G. D. Pettit and P. D. Kirschner : Phys. Rev. Letters 69, 3068 (1992).

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