Internal and Translational Energy Distributions of CuF Produced in the Etching Reaction of Cupper Surfaces with Fluorine

Ko-ichi SUGAWARA

doi:10.1380/jsssj.16.564

Ko-ichi SUGAWARA

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1995 Volume 16 Issue 9 Pages 564-570

DOI https://doi.org/10.1380/jsssj.16.564

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Published: September 10, 1995 Received: April 12, 1995 Available on J-STAGE: August 07, 2009 Accepted: April 12, 1995 Advance online publication: - Revised: -
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Date of correction: August 07, 2009 Reason for correction: - Correction: CITATION Details: Wrong : 3) H. Zacharias : Int. J. Mod. Phys. B 4, 45 (1990).
4) D. C. Jacobs, K. W. Kolasinski, S. F. Shane and R. N. Zare : J. Chem. Phys. 91, 3182 (1989).
5) D. S. Y. Hsu and M. C. Lin : J. Chem. Phys. 88, 432 (1988).
6) L. Schröter, R. David and H. Zacharias : Surf. Sci. 258, 259 (1991).
7) W. Brenig, H. Kasai and H. Müller : Surf. Sci. 161, 608 (1985).
8) C. W. Muhlhausen, L. R. Williams and J. C. Tully : J. Chem. Phys. 83, 2594 (1985).
9) C. Haug and W. Brenig : Surf. Sci. 262, 271 (1992).
10) G. D. Kubiak, G. O. Sitz and R. N. Zare : J. Chem. Phys. 83, 2538 (1985).
11) W. Brenig, S. Küchenhoff and H. Kasai : Appl. Phys. A 51, 115 (1990).
12) S. Küchenhoff, W. Brenig and Y. Chiba : Surf. Sci. 245, 389 (1991).
13) G. Anger, A. Winkler and K. D. Rendulic : Surf. Sci. 220, 1 (1989).
14) H. F. Berger, M. Leisch, A. Winkler and K. D. Rendulic : Chem. Phys. Lett. 175, 425 (1990).
15) D. J. Auerbach, C. T. Rettner and H. A. Michelsen : Surf. Sci. 283, 1 (1993).
16) A. Bracker, P. Jakob, U. Näher, M. Rüdiger, K. Sugawara and J. Wanner : Can. J. Chem. 72, 643 (1994).
17) K. Sugawara, Th. Wach, J. Wanner and P. Jakob : J. Chem. Phys. 102, 544 (1995).
18) K. G. Nakamura, H. Kuroki and M. Kitajima J. Appl. Phys. 75, 4261 (1994).
19) K. G. Nakamura and M. Kitajima : Appl. Phys. Lett. 65, 2445 (1994).
20) J. M. Parson and C. C. Fang : J. Chem. Phys. 92, 4823 (1990).
21) P. Baltayan, F. Hartman, I. Hikmet and N. Sadeghi : J. Chem. Phys. 97, 5417 (1992).
22) X. R. Chen, K. Wagemann, J. Wanner, W. Brenig and S. Küchenhoff : Surf. Sci. 224, 570 (1989).
23) F. Ahmed, R. F. Barrow, H. Chojnicki, C. Dufour and J. Schamps J. Phys. B 15, 3801 (1982).
24) P. Jakob, K. Sugawara and J. Wanner : J. Mol. Spectrosc. 160, 596 (1993).
25) P. Jakob, K. Sugawara, J. Wanner, A. Bath and E. Tiemann : Can. J. Phys. 72, 1087 (1994).
26) J. Schamps, J. M. Delaval and O. Faucher : Chem. Phys. 145, 101 (1990).
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29) N. Billy, B. Girard, G. Gouédard and J. Vigué Mol. Phys. 61, 65 (1987).
30) H. F. Winters : J. Vac. Sci. Technol. B 3, 9 (1985) ; J. Vac. Sci. Technol. A 3, 786 (1985).
31) J. C. Tully : “Kinetics of Interface Reactions” (ed. by M. Grunze and H. J. Kreuzer, Springer, Berlin, 1987) p. 37.

Right : 3) H. Zacharias : Int. J. Mod. Phys. B 4, 45 (1990).
4) D. C. Jacobs, K. W. Kolasinski, S. F. Shane and R. N. Zare : J. Chem. Phys. 91, 3182 (1989).
5) D. S. Y. Hsu and M. C. Lin : J. Chem. Phys. 88, 432 (1988).
6) L. Schröter, R. David and H. Zacharias : Surf. Sci. 258, 259 (1991).
7) W. Brenig, H. Kasai and H. Müller : Surf. Sci. 161, 608 (1985).
8) C. W. Muhlhausen, L. R. Williams and J. C. Tully : J. Chem. Phys. 83, 2594 (1985).
9) C. Haug and W. Brenig : Surf. Sci. 262, 271 (1992).
10) G. D. Kubiak, G. O. Sitz and R. N. Zare : J. Chem. Phys. 83, 2538 (1985).
11) W. Brenig, S. Küchenhoff and H. Kasai : Appl. Phys. A 51, 115 (1990).
12) S. Küchenhoff, W. Brenig and Y. Chiba : Surf. Sci. 245, 389 (1991).
13) G. Anger, A. Winkler and K. D. Rendulic : Surf. Sci. 220, 1 (1989).
14) H. F. Berger, M. Leisch, A. Winkler and K. D. Rendulic : Chem. Phys. Lett. 175, 425 (1990).
15) D. J. Auerbach, C. T. Rettner and H. A. Michelsen : Surf. Sci. 283, 1 (1993).
16) A. Bracker, P. Jakob, U. Näher, M. Rüdiger, K. Sugawara and J. Wanner : Can. J. Chem. 72, 643 (1994).
17) K. Sugawara, Th. Wach, J. Wanner and P. Jakob : J. Chem. Phys. 102, 544 (1995).
18) K. G. Nakamura, H. Kuroki and M. Kitajima J. Appl. Phys. 75, 4261 (1994).
19) K. G. Nakamura and M. Kitajima : Appl. Phys. Lett. 65, 2445 (1994).
20) J. M. Parson and C. C. Fang : J. Chem. Phys. 92, 4823 (1990).
21) P. Baltayan, F. Hartman, I. Hikmet and N. Sadeghi : J. Chem. Phys. 97, 5417 (1992).
22) X. R. Chen, K. Wagemann, J. Wanner, W. Brenig and S. Küchenhoff : Surf. Sci. 224, 570 (1989).
23) F. Ahmed, R. F. Barrow, H. Chojnicki, C. Dufour and J. Schamps J. Phys. B 15, 3801 (1982).
24) P. Jakob, K. Sugawara and J. Wanner : J. Mol. Spectrosc. 160, 596 (1993).
25) P. Jakob, K. Sugawara, J. Wanner, A. Bath and E. Tiemann : Can. J. Phys. 72, 1087 (1994).
26) J. Schamps, J. M. Delaval and O. Faucher : Chem. Phys. 145, 101 (1990).
27) G. Herzberg “Molecular Spectra and Molecular Structure. I. Spectra of Diatomic Molecules” (Krieger, Florida, 1989).
28) R. W. Schwenz and J. M. Parson : J. Chem. Phys. 73, 259 (1980).
29) N. Billy, B. Girard, G. Gouédard and J. Vigué Mol. Phys. 61, 65 (1987).
30) H. F. Winters : J. Vac. Sci. Technol. B 3, 9 (1985) ; J. Vac. Sci. Technol. A 3, 786 (1985).
31) J. C. Tully : “Kinetics of Interface Reactions” (ed. by M. Grunze and H. J. Kreuzer, Springer, Berlin, 1987) p. 37.

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