Name : [in Japanese]
Location : [in Japanese]
Date : April 14, 2021 - April 19, 2021
[in Japanese]
Pages 48-49
(compatible with EndNote, Reference Manager, ProCite, RefWorks)
(compatible with BibDesk, LaTeX)
Alワイヤのウェッジボンディングでは,ワイヤの加振に超硬ツールを用いる。ツールとAlワイヤとの接触部は,繰り返しの接合に伴い,ツール表面の摩耗及びAlの付着が見られ接合性に影響を及ぼすことが判っている。摩耗及びAl付着のメカニズムの解明に向け,電子顕微鏡などを用いて摩耗及び付着の形態を観察した。