真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
高周波二極スパッタ法によるZnO透明電導膜
中沢 達夫, 伊東 謙太郎
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1983 年 26 巻 12 号 p. 889-894

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