真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
超高真空的配慮がなされたMOCVD装置の開発
林 俊雄, 桑原 和広, 大輪 清昇, 小宮 宗治
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1985 年 28 巻 5 号 p. 372-375

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