天田財団助成研究成果報告書
Online ISSN : 2434-4028
Print ISSN : 2434-0723
研究開発助成部門　【奨励研究助成】　レーザプロセッシング
集光レーザー場での高速反応・気相成長によるジルコニウム炭窒化物直接描画技術の開発
且井 宏和
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キーワード: 化学気相析出, ジルコニウム炭窒化物, 成膜
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2022 年 35 巻 p. 411-

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