GHzバーストモード超高繰り返しフェムト秒レーザーパルスを用いたレーザー加工技術の開発

天田財団助成研究成果報告書

Online ISSN : 2434-4028
Print ISSN : 2434-0723

研究開発助成部門　【一般研究開発助成】　レーザプロセッシング

GHzバーストモード超高繰り返しフェムト秒レーザーパルスを用いたレーザー加工技術の開発

小幡孝太郎

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キーワード: フェムト秒レーザー, GHzバーストモード, 微細加工

研究報告書・技術報告書フリー

2023 年 36 巻 p. 277-

DOI https://doi.org/10.32163/amadareport.36.0_277

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