走査電子顕微鏡による凹凸測定の基礎的研究
1984 年 17 巻 p. 1-7
詳細
1984 年 17 巻 p. 1-7
本研究は走査電子顕微鏡の二次電子および反射電子信号をオンラインで積分回路を通す方法,および二次電子,反射電子信号をデータレコーダに取り込み,その値をオフラインで A-D 変換し,ミニコンピュータを用いて積分する方法により,試料表面の凹凸形状を測定する2種類の手法について述べられている.上記2種類の方法を用い,三角山形形状の断面を有する4種類の試料を使用し,凹凸形状を求めたところ,それらの三角形山形の凹凸形状が,オンラインの場合は X-Y レコーダに,オフラインの場合は X-Y プロッタ上に再現でき,ミクロな試料表面の凹凸形状の測定が可能であることが示された.
