分光研究
Online ISSN : 1884-6785
Print ISSN : 0038-7002
ISSN-L : 0038-7002
シリコン基板上の堆積膜の赤外反射吸収スペクトルに対するシリコン酸化膜の影響
辻 剛志, 西岡 研一, 西村 幸雄, 辻 正治
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2002 年 51 巻 2 号 p. 74-76

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