ソフトウェアエージェントによる成膜形状計算の自動モデル化と最適成膜条件の探索

抄録

半導体デバイス作製時の微細成膜形状はプロセスシミュレータで予測されるが計算コストが莫大である。計算過程をPLSなどでモデル化できれば計算コストの大幅な削減が期待できる。本研究では、エージェント技術を用いて、自律的にシミュレータを操作してトレーニングデータを作成し、汎用的なモデル化ソフトを操作してモデルを作るシステムを開発した。得られたモデルは予測性が高く、最適な成膜形状を得る条件を容易に求められるようになった。