バイオインスパイアードアルゴリズムを用いた化学気相堆積における成膜速度分布計算方法の開発

抄録

バイオインスパイアードアルゴリズムを用いて、化学気相堆積の反応装置内における成膜速度分布を見積もる計算方法を開発した。また、バイオインスパイアードアルゴリズムの性能を、評価関数の収束値のメジアンと四分位偏差、および、計算時間の平均実測値を用いて評価した。アルゴリズムの中でREX-star+JGGは探索能力、収束安定性、計算時間の観点から総合的には最もよい性能を示した。