化学気相堆積法における多目的最適化手法に基づく自動実験計画法の開発

抄録

化学気相堆積法の研究開発の自動化を目指して、反応装置内部において原料ガスが気相反応や表面反応を経て薄膜になる反応機構（反応モデル）を明らかにするための実験計画を自動的に立案するシステムを開発した。立案アルゴリズムは多目的最適化手法を用いて実現した。得られたパレート解はクラスター分析によって分類され、新たな実験計画として提案された。