同軸マグネトロンスパッタ法による線および細管内壁への膜のコーティング

電気学会論文誌. A

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205

同軸マグネトロンスパッタ法による線および細管内壁への膜のコーティング

星陽一, 直江正彦, 山中俊一

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ジャーナルフリー

1983 年 103 巻 2 号 p. 73-80

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1972.103.73

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