日立製作所日立研究所
1985 年 105 巻 11 号 p. 589-596
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電氣學會雜誌
電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）
電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
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