2種類の高周波を重畳しそ放電させたプラズマの負性導電率

電気学会論文誌. A

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205

2種類の高周波を重畳しそ放電させたプラズマの負性導電率

長濱治男, 福村隆志, 高元曄夫

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ジャーナルフリー

1985 年 105 巻 7 号 p. 381-388

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1972.105.381

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