電気学会論文誌. A
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
二重管式同軸線路形マイクロ波プラズマCVD法によるa-Si:H薄膜の基板温度特性
加藤 勇上田 哲也畑中 和久
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1986 年 106 巻 8 号 p. 391-397

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