電気学会論文誌. A
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
二重管式同軸線路形マイクロ波プラズマCVDにおけるSiH4の解離度と膜堆積速度
加藤 勇江橋 克巳末松 憲治
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1987 年 107 巻 7 号 p. 331-338

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