誘導結合型高周波放電に対する2種類の高周波電界の重畳効果

電気学会論文誌. A

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205

誘導結合型高周波放電に対する2種類の高周波電界の重畳効果

長濱治男, 福村隆志, 高元曄夫

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ジャーナルフリー

1988 年 108 巻 2 号 p. 51-58

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1972.108.51

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