電気学会論文誌. A
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
清浄表面を保持する加熱式静電探針の基礎特性
小林 祥男大手 丈夫加藤 正明菅原 賓
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1989 年 109 巻 2 号 p. 69-75

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