電気学会論文誌. A
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
プラズマCVD法による多結晶SiC薄膜
小沼 義治, 上村 喜一, 長畦 文男, 関 広之, 手塚 恭一
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1989 年 109 巻 5 号 p. 219-226

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