電気学会論文誌. A
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
マイクロ波放電による有機化合物プラズマとアモルファスカーボン膜析出
金沢 誠司蛯原 健治
著者情報
ジャーナル フリー

1989 年 109 巻 7 号 p. 303-310

詳細
記事の1ページ目
著者関連情報
© 電気学会
前の記事 次の記事
feedback
Top