電気学会論文誌. A
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
Y2O3添加ZrO2スパッタ膜の作製と評価
小沼 義治外村 武彦山川 博中尾 真人上村 喜一
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1989 年 109 巻 7 号 p. 318-322

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