室蘭工業大学
北海道大学工学部
1977 年 97 巻 4 号 p. 175-182
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電氣學會雜誌
電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）
電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
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