高周波スパッタリング法による光変調素子用LiNbO<sub>3</sub>単結晶薄膜の作成とその特性

電気学会論文誌. A

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205

高周波スパッタリング法による光変調素子用LiNbO₃単結晶薄膜の作成とその特性

神谷敏玄, 宮崎保光, 赤尾保男

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ジャーナルフリー

1979 年 99 巻 11 号 p. 519-526

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1972.99.519

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