II.オゾンの発生技術

電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）

Online ISSN : 1348-8163
Print ISSN : 0913-6339
ISSN-L : 0913-6339

II.オゾンの発生技術

山部長兵衛, 酒井英治

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キーワード: オゾン, オゾン処理, 微小放電, 電子衝突解離, 無声放電

ジャーナルフリー

1994 年 114 巻 4 号 p. 357-361

DOI https://doi.org/10.1541/ieejias.114.357

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