電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）
Online ISSN : 1348-8163
Print ISSN : 0913-6339
ISSN-L : 0913-6339
NONCONTACT SUSPENDING AND TRANSPORTING PLANAR OBJECTS BY USING ACOUSTIC LEVITATION
Yoshiki Hashimoto, Yoshikazu Koike, Sadayuki Ueha
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キーワード: acoustic levitation, ultrasonic, vibration plate, transportation, non-contact
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1997 年 117 巻 11 号 p. 1406-1407

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