(株)日立製作所日立研究所
(株)日立製作所水戸工場
1986 年 106 巻 5 号 p. 464-471
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電氣學會雜誌
電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）
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