高速高画質をねらいとしたa-Si:H TFT駆動イメージセンサ
1989 年 28 巻 3 号 p. 299-305
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1989 年 28 巻 3 号 p. 299-305
従来低価格ファクシミリ向けイメージセンサと考えられて来たa-Si:H密着型イメージセンサに関して，高速高画質化の検討を行った．その結果ITO/a-Si:Hショットキー接合型の受光部での応答速度，a-Si:HTFTの最適化による電荷転送特性の改善及び微細加工技術による解像度の向上，マトリクス配線の最適化による階調性の向上により，400 DPI，256階調，0.5 ms/line以下の性能を達成する見通しが得られた．
