12-5 Vertical Thin Film Field Emitter Arrayを用いたCdTe X線イメージングデバイス(第12部門 センシング2)

恒川 裕輝; 中川 雅史; 吉田 知也; 長尾 昌善; 根尾 陽一郎; 松原 勝見; 山下 進; 青木 徹; 三村 秀典; 金丸 正剛

doi:10.11485/iteac.2009.0__12-5-1_

セッションID: 12-5

DOI https://doi.org/10.11485/iteac.2009.0__12-5-1_

会議情報

会議名: 2009年映像情報メディア学会年次大会

開催地: 工学院大学（新宿キャンパス）

開催日: 2009/08/26 - 2009/08/28

12-5 Vertical Thin Film Field Emitter Arrayを用いたCdTe X線イメージングデバイス(第12部門センシング2)

恒川裕輝, 中川雅史, 吉田知也, 長尾昌善, 根尾陽一郎, 松原勝見, 山下進, 青木徹, 三村秀典, 金丸正剛

著者情報

恒川裕輝
静岡大学電子工学研究所
中川雅史
静岡大学電子工学研究所
吉田知也
産業技術総合研究所
長尾昌善
産業技術総合研究所
根尾陽一郎
静岡大学電子工学研究所
松原勝見
静岡大学電子工学研究所
山下進
静岡大学電子工学研究所
青木徹
静岡大学電子工学研究所
三村秀典
静岡大学電子工学研究所
金丸正剛
産業技術総合研究所

会議録・要旨集フリー

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抄録

We have proposed and fabricated the X-ray image sensor which consisted of a CdTe diode and a field emitter arrays. This paper describes the attempt to realize a Vertical Thin Film Field Emitter Array for CdTe X-ray imaging device.

責任著者(Corresponding author)

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