512×486画素CCDイメージセンサー

抄録

512×486画素を持つCCDイメージセンサーを試作した.ポリSi・ポリSi重ね合せ電極構成を基本とし, フレームトランスファー撮像が可能な構成になっている.界面準位, 結晶欠陥の低減化のためのプロセスと動作方法に新たな工夫を取り入れることにより白傷の少ない良質の画像が得られ, 350本以上の解像度が実現した.ここでは素子の概要とその特性について述べる.