3次元IC技術の現状

テレビジョン学会誌

Online ISSN : 1884-9652
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3次元IC技術の現状

石原宏

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ジャーナルフリー

1988 年 42 巻 3 号 p. 229-236

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抄録

能動デバイスを平面ばかりでなく, 縦方向にも集積化した3次元ICの製作技術の現状と, 試作されたデバイスの例を紹介し, 将来像の一端について考察した.結論として, イメージプロセッサへの応用が特に有用であることを述べた.

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