抄録
3板式ハイビジョンテレビカメラ用に1258 (H) ×1035 (V) 画素をもつフレームインタライン転送CCD (FIT-CCD) 撮像素子を開発した.高速フレーム転送を実現するために, AL層が遮光と配線を兼ねる画素構造を試みた.その結果, 625kHzの高速駆動を実現し, スミアー0.001%, ダイナミックレンジ72dBの特性を得た.水平CCDには, 消費電力を減らすためにデュアルチャンネルを用いた.デュアルチャンネル水平CCDは, FPNの原因となるポテンシャルバリアーのできないようにデバイスシミュレーションを用いて設計した.解像度は, 垂直・水平ともに700TV本, 残像は1%の測定限界以下であった.
