AMLCDの製造プロセス技術および製造装置の開発動向

テレビジョン学会誌

Online ISSN : 1884-9652
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AMLCDの製造プロセス技術および製造装置の開発動向

森本弘, 田仲広久

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ジャーナルフリー

1993 年 47 巻 5 号 p. 565-569

DOI https://doi.org/10.3169/itej1978.47.565

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抄録

近い将来, LCDはCRTと肩を並べ, さらに新たな市場を創造するキーデバイスとなると予測されているが, そのためにはアクティブマトリクス型LCDの大幅な低コスト化を実現する必要があるそこで, アクティブマトリクス型LCDのコスト低減のためのプロセス技術や装置技術に関する開発動向を紹介する

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