H2 レーザー誘起GHz表面波のイオン打ち込みDLC(Diamond-Like-Carbon)薄膜評価への応用(光音響技術)

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集

Online ISSN : 2433-1414

セッションID: H2

DOI https://doi.org/10.24492/iuse.14.0_259

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H2 レーザー誘起GHz表面波のイオン打ち込みDLC(Diamond-Like-Carbon)薄膜評価への応用(光音響技術)

沈青, 原田明, 澤田嗣郎

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