P1-6 水熱法によるPZT薄膜の作製 : 成膜条件と結晶成長および振動速度の関係(ポスターセッション1,ポスター発表)

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集

Online ISSN : 2433-1414

セッションID: P1-6

DOI https://doi.org/10.24492/iuse.23.0_19

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P1-6 水熱法によるPZT薄膜の作製 : 成膜条件と結晶成長および振動速度の関係(ポスターセッション1,ポスター発表)

石河睦生, 桂尚樹, 佐藤敏夫, 辻毅一, 川島徳道, 竹内真一, 黒澤実

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