F-4 電子線超音波顕微鏡によるn・p・n Si-Trのベース領域の転位線(超音波顕微鏡・非破壊検査)

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集

Online ISSN : 2433-1414

セッションID: F-4

DOI https://doi.org/10.24492/iuse.6.0_139

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F-4 電子線超音波顕微鏡によるn・p・n Si-Trのベース領域の転位線(超音波顕微鏡・非破壊検査)

竹野下寛

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