空気清浄-コンタミネーションコントロール
Online ISSN : 2759-9922
Print ISSN : 0023-5032
クリーンルームにおける清浄度管理と測定
【講座】 クリーンルームにおける各種測定方法(第2 回)
岡川 岳史
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2025 年 63 巻 2 号 p. 130-136

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抄録
This paper focuses on the classification of air cleanliness and the associated testing methods based on the Japanese Industrial Standard JIS B 9920-1. It provides detailed information on precautions when using an LSAPC( Light Scattering Airborne Particle Counter) for sampling, as well as selection criteria based on the performance and functionality. The aim is to provide practical knowledge that enables practitioners to carry out efficient, reliable, and standard-compliant cleanroom classification.
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© 2025 公益社団法人日本空気清浄協会
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