抄録
著者等は，indialite結晶化ガラスがマイクロ波/ミリ波誘電体材料として優れた誘電特性：低誘電率(4.7)・高品質係数(Qf > 200,000 GHz)を有することを明らかにしてきた．Indialiteは，cordieriteの多形で，オーダー/ディスオーダ転移の高温型である．CordieriteにNiをドープするとQfが改善され，リートベルト構造解析で結晶構造がindialiteに変化することを見いだした．Indialiteは，ガラスからの結晶化過程で生成することが知られているので，結晶化ガラスの着想に至った．Cordierite組成のガラスをindialiteに結晶化して，先の高特性の材料を得た．本研究では，このindialiteを900 ℃以下の低温焼成基板（LTCC）への応用を目指したものである．焼結助剤にBi2O3を用い，作製条件：10 wt% Bi2O3添加， 900℃/2hを見いだし，テープ成型・積層・焼結して低温焼成基板を作製した．得られた基板は，ソリやクラックも無く，誘電率6.10，tand = 0.00014 (1 MHz)の優れたものであった．
