日本結晶学会誌
Online ISSN : 1884-5576
Print ISSN : 0369-4585
ISSN-L : 0369-4585
半導体へのイオン打込みによって発生した二次欠陥
田村 誠男, 宮崎 隆雄, 徳山 巍
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1973 年 15 巻 Supplement 号 p. 44

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