高周波スパッタリングによる紫外発光Si/SiO<SUB>2</SUB>多層膜の作製

照明学会誌

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Print ISSN : 0019-2341
ISSN-L : 0019-2341

研究速報

高周波スパッタリングによる紫外発光Si/SiO₂多層膜の作製

三浦健太, 加藤裕司, 星野ひとみ, 花泉修

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2008 年 92 巻 2 号 p. 105-108

DOI https://doi.org/10.2150/jieij.92.105

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© 2008 一般社団法人照明学会

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