照明学会誌
Online ISSN : 1349-838X
Print ISSN : 0019-2341
ISSN-L : 0019-2341
反応性イオンビームスパッタ法によるAlN薄膜の作成とその光学的特性
土屋 竜二, 細田 隆広, 中川 靖夫, 大谷 文雄, 谷治 環
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1996 年 80 巻 Appendix 号 p. 273

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