エリプソメトリーによるタングステンの複素屈折率の算定

照明学会誌

Online ISSN : 1349-838X
Print ISSN : 0019-2341
ISSN-L : 0019-2341

エリプソメトリーによるタングステンの複素屈折率の算定

複素屈折率の波長依存性について

佐藤歩, 関根征士, 大河正志

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ジャーナルフリー

2001 年 85 巻 Appendix 号 p. 53

DOI https://doi.org/10.2150/jieij1980.85.Appendix_53

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